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        佳能將發售KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的Grade10升級包

        2022-06-18

        6月18日消息,佳能宣布將于2022年8月初發售KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的“Grade10”產能升級配件包(以下簡稱“Grade10”升級包)。


        據介紹,KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”自發售至今,已經在生產存儲器和邏輯電路的大型半導體器件制造廠商中收獲良好口碑。新發布的“Grade10”升級包能夠在300mm晶圓規格基礎上,實現每小時300片晶圓的高效率生產。此外,這一升級包將于2023年在KrF半導體光刻機“FPA-6300ES6a”的200mm兼容設備上得到應用。


        “Grade10”升級包通過加快工作臺和傳送系統的驅動,縮短了曝光時間和傳輸時間,以每小時300片晶圓的產能,實現半導體光刻行業的更高水準生產。同時,這是佳能在半導體光刻設備上首次搭載基于人工神經網絡的工作臺控制系統,減少高速驅動產生的振動,以保持高精度光刻水準。此外,通過選取套刻精度(Overlay)配件,在提升產能的同時,更可實現高達4nm的套刻精度。

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